MỤC LỤC BÀI VIẾT
- 1 Máy kiểm tra vi mạch quang OPAL MD EXFO – Thiết bị kiểm tra Multi Die Photonic IC (PIC) thế hệ mới cho sản xuất và R&D
- 1.1 Giải pháp đo kiểm PIC – Máy kiểm tra vi mạch quang OPAL MD EXFO tối ưu cho sản xuất wafer và nghiên cứu
- 1.2 Cấu trúc phần cứng của OPAL MD EXFO – Trạm probe station tự động chính xác cao cho Photonic IC
- 1.3 Phần mềm EXFO Pilot – Trung tâm tự động hóa của máy kiểm tra vi mạch quang OPAL MD EXFO
- 1.4 Khả năng multi-die testing – Điểm khác biệt vượt trội của thiết bị kiểm tra vi mạch quang OPAL MD EXFO
- 1.5 Cấu hình linh hoạt và khả năng tùy biến – Trạm kiểm tra Photonic IC OPAL MD EXFO đa nhiệm
- 1.6 Độ chính xác và độ tin cậy cao – Tiêu chuẩn sản xuất của máy kiểm tra vi mạch quang OPAL MD EXFO
- 1.7 Ứng dụng thực tế – Thiết bị kiểm tra vi mạch quang OPAL MD EXFO trong Photonic IC đa lĩnh vực
- 1.8 Giá trị và lợi ích cho khách hàng – Tại sao chọn máy đo kiểm Photonic IC OPAL MD EXFO
- 1.9 Bảng thông số kỹ thuật – Máy kiểm tra vi mạch quang OPAL MD EXFO
- 1.10 Kết luận – Máy kiểm tra vi mạch quang OPAL MD EXFO: Nền tảng test station PIC đa die linh hoạt và hiệu quả
Máy kiểm tra vi mạch quang OPAL MD EXFO – Thiết bị kiểm tra Multi Die Photonic IC (PIC) thế hệ mới cho sản xuất và R&D
Máy kiểm tra vi mạch quang OPAL MD EXFO (EXFO OPAL MD Photonic Integrated Circuit Multi-Die Automated Probe Station) là nền tảng đo kiểm tự động hiện đại, được thiết kế dành riêng cho các ứng dụng PIC – Photonic Integrated Circuit ở cấp wafer-level.
Thiết bị này giúp đo đồng thời nhiều die (multi-die testing) trên cùng một wafer, rút ngắn thời gian kiểm thử và đảm bảo độ chính xác cao trong các quy trình sản xuất và R&D.
Với độ ổn định cơ học tuyệt vời, phần mềm EXFO Pilot automation suite, cùng khả năng linh hoạt cấu hình đầu dò (probe heads), OPAL MD mang đến cho người dùng giải pháp đo kiểm thông minh, tiết kiệm thời gian và nâng cao năng suất trong mọi môi trường quang học tích hợp.
Giải pháp đo kiểm PIC – Máy kiểm tra vi mạch quang OPAL MD EXFO tối ưu cho sản xuất wafer và nghiên cứu
Trong ngành Photonic IC, kiểm thử wafer-level đóng vai trò thiết yếu nhằm đảm bảo hiệu suất quang học, yield sản xuất và độ tin cậy sản phẩm.
Máy kiểm tra vi mạch quang OPAL MD EXFO cho phép đánh giá nhiều die trên cùng một wafer trong chu kỳ đo liên tục, giúp giảm tối đa thời gian thao tác thủ công.
So với các hệ thống single-die probe station truyền thống, OPAL MD hỗ trợ multi-die automation testing, nghĩa là người vận hành chỉ cần thiết lập ban đầu, hệ thống sẽ tự động định vị, căn chỉnh (auto alignment), đo và lưu dữ liệu cho từng die.
→ Kết quả: tăng năng suất, giảm sai sót và tối ưu chi phí kiểm thử, đặc biệt phù hợp cho các trung tâm R&D photonic lab và nhà máy sản xuất wafer quang học.
Cấu trúc phần cứng của OPAL MD EXFO – Trạm probe station tự động chính xác cao cho Photonic IC
Máy kiểm tra vi mạch quang OPAL MD EXFO được chế tạo với cơ cấu cơ-điện tử hiện đại, tập trung vào độ chính xác, độ bền và khả năng tùy biến cao:
-
Wafer Chuck (12 inch compatible): bàn đỡ wafer lên tới 300 mm, có tùy chọn điều khiển nhiệt (temperature control).
-
4-Axis Motorized Stage: chuyển động X, Y, Z và rotation với độ phân giải sub-micron.
-
Vision System: camera top-view và side-view telecentric lens cho độ chính xác cao khi căn chỉnh waveguide.
-
Probe Heads: tối đa 03 đầu dò (optical hoặc electrical), có thể hoán đổi tùy ứng dụng.
-
Integrated Control Electronics: giao diện EXFO Pilot điều khiển mọi chuyển động và ghi nhận dữ liệu.
Thiết kế này giúp hệ thống đạt độ ổn định cơ học cao, giảm nhiễu rung (vibration damping) và duy trì độ lặp lại (repeatability) giữa các phép đo liên tiếp.
Phần mềm EXFO Pilot – Trung tâm tự động hóa của máy kiểm tra vi mạch quang OPAL MD EXFO
Phần mềm EXFO Pilot automation platform là “bộ não” điều khiển toàn bộ hoạt động của trạm kiểm tra OPAL MD.
Hệ thống cho phép thực hiện các bước: định vị mẫu, tự động căn chỉnh (auto alignment), đo quang điện, phân tích và báo cáo dữ liệu hoàn toàn tự động.
Các chức năng chính bao gồm:
-
Auto Wafer Mapping – nhận diện và đánh số die trên wafer.
-
Smart Alignment Algorithm – tự động điều chỉnh fiber array đến vị trí tối ưu.
-
Instrument Integration – tích hợp các thiết bị đo ngoại vi như laser source, OSA, power meter.
-
Data Analytics & Reporting – tự động phân tích và xuất báo cáo (PDF/CSV).
-
Traceability – lưu lại toàn bộ thông tin về wafer ID, operator và ngày đo.
Nhờ EXFO Pilot, OPAL MD có thể vận hành liên tục với tốc độ cao, giảm thiểu thao tác thủ công và đảm bảo độ nhất quán kết quả.
Khả năng multi-die testing – Điểm khác biệt vượt trội của thiết bị kiểm tra vi mạch quang OPAL MD EXFO
Không giống các probe station đơn truyền thống, OPAL MD hỗ trợ multi-die testing – đo nhiều die trên wafer trong một chuỗi liên tục mà không cần reset hay di chuyển thủ công.
Lợi ích chính:
-
Giảm thời gian thiết lập (set-up time).
-
Giảm rủi ro do can thiệp thủ công.
-
Tăng tốc độ kiểm tra wafer-level testing đến 50 %.
-
Tối ưu phân tích yield nhờ dữ liệu đa điểm.
Tính năng này đặc biệt quan trọng cho các phòng lab đang chuyển đổi từ giai đoạn R&D sang pilot production.
Cấu hình linh hoạt và khả năng tùy biến – Trạm kiểm tra Photonic IC OPAL MD EXFO đa nhiệm
Máy đo Photonic IC OPAL MD EXFO cho phép người dùng tùy biến từng thành phần để phù hợp với ứng dụng cụ thể:
-
Probe Type: optical, electrical hoặc RF.
-
Sample Type: wafer, bar, multiple dies, singulated die.
-
Operation Mode: manual, semi-auto hoặc fully auto.
-
Coupling Mode: surface coupling hoặc edge coupling.
Điều này giúp OPAL MD phù hợp với nhiều nền tảng công nghệ quang học như silicon photonics, InP, GaAs, hoặc hybrid photonics.
Độ chính xác và độ tin cậy cao – Tiêu chuẩn sản xuất của máy kiểm tra vi mạch quang OPAL MD EXFO
EXFO thiết kế OPAL MD với mục tiêu đạt độ chính xác cao và độ lặp lại tuyệt đối cho môi trường phòng lab và sản xuất:
-
Precision motion system sub-micron độ phân giải.
-
Vision alignment có tự động bù nhiệt (auto thermal compensation).
-
Cấu trúc cơ khí ổn định, chống rung và nhiễu.
-
Độ lặp lại (Repeatability) ở mức sub-micron cho mỗi phép đo.
Nhờ vậy, thiết bị đảm bảo mỗi lần đo cho ra kết quả ổn định và đáng tin cậy, phù hợp cho kiểm tra PIC ở quy mô công nghiệp.
Ứng dụng thực tế – Thiết bị kiểm tra vi mạch quang OPAL MD EXFO trong Photonic IC đa lĩnh vực
OPAL MD EXFO được ứng dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực PIC:
-
R&D Testing: đánh giá cấu trúc và thiết kế PIC mới.
-
Pilot Production: kiểm tra hiệu suất wafer trước đóng gói.
-
Yield Analysis: phân tích thống kê hiệu suất đa die.
-
Optoelectronic Device Testing: kiểm tra mạch lai quang – điện.
-
Advanced Photonics Research: ứng dụng trong telecom, datacom, LIDAR, quantum photonics.
Nhờ hỗ trợ multi-platform và multi-die, OPAL MD là nền tảng test station được ưa chuộng trong nghiên cứu và sản xuất PIC hiện đại.
Giá trị và lợi ích cho khách hàng – Tại sao chọn máy đo kiểm Photonic IC OPAL MD EXFO
-
Tự động hóa toàn diện: giảm tối đa thao tác thủ công.
-
Hiệu suất cao: multi-die testing rút ngắn 50 % thời gian kiểm tra.
-
Tính linh hoạt: phù hợp với nhiều nền tảng quang khác nhau.
-
Dễ tích hợp: kết nối với thiết bị đo ngoại vi (EXFO ecosystem).
-
Độ chính xác cao: cấu trúc sub-micron đảm bảo độ tin cậy công nghiệp.
-
Tiết kiệm chi phí dài hạn: giảm chi phí kiểm thử và tăng hiệu suất nhân sự.
Bảng thông số kỹ thuật – Máy kiểm tra vi mạch quang OPAL MD EXFO
Thông số (Parameters) | Giá trị / Mô tả (Values) |
---|---|
Kích thước wafer hỗ trợ | Tối đa 12 inch (300 mm) |
Chuyển động stage | 4-axis motorized (X, Y, Z, Rotation) |
Vision system | Top & Side camera, telecentric lens |
Probe heads | Tối đa 3 (optical / electrical / RF) |
Coupling mode | Surface coupling / Edge coupling |
Phần mềm điều khiển | EXFO Pilot Automation Software |
Dữ liệu đầu ra | PDF, CSV, Database report |
Ứng dụng chính | R&D, Pilot production, Yield testing |
Độ chính xác định vị | Sub-micron precision |
Môi trường vận hành | Lab / Cleanroom compatible |
Hãng sản xuất | EXFO Inc. (Canada) |
Kết luận – Máy kiểm tra vi mạch quang OPAL MD EXFO: Nền tảng test station PIC đa die linh hoạt và hiệu quả
OPAL MD EXFO là giải pháp kiểm thử Photonic IC (PIC) thế hệ mới, mang đến khả năng multi-die testing vượt trội, phần mềm tự động EXFO Pilot thông minh và cấu trúc sub-micron chính xác.
Thiết bị đáp ứng hoàn hảo nhu cầu từ nghiên cứu đến sản xuất, giúp doanh nghiệp rút ngắn thời gian đưa sản phẩm ra thị trường, nâng cao chất lượng và tối ưu hiệu quả kinh tế.
OPAL MD EXFO – Giải pháp kiểm thử PIC đa-die tự động cho tương lai công nghiệp quang học.
THAM KHẢO: WEBSITE CHÍNH HÃNG EXFO OPAL MD TEST MULTI DIE PIC
THAM KHẢO: CÁC DÒNG MÁY EXFO DÙNG TRONG SẢN XUẤT VÀ NGHIÊN CỨU